エア・ウォーターや第一実業と共同、搬送自動化ソリューション提案
FIGは8月26日、グループのREALIZE（リアライズ、大分市）が手掛ける自動搬送ロボット（AMR）「WILL-FA」を、最先端ロジック半導体の国産化を目指すRapidus（ラピダス）が北海道千歳市に建設する半導体工場に導入すると発表した。
同工場は自動運転やAIなど次世代の産業に欠かせないとされる2ナノメートル（nm）以下の最先端ロジック半導体を製造する予定。ラピダスは2025年4月にパイロットラインを稼働し、27年に量産を開始することを計画している。
「WILL-FA」は材料・部品容器のエリア間搬送業務の自動化を促進するのが狙いで、材料容器の自動搬送をエア・ウォーター、クリーンルーム内の部品容器の自動搬送を第一実業とそれぞれ共同で純国産の搬送ロボットによるソリューションを提案、25年の導入が決まった。
純国産搬送ロボットのメリットでもある柔軟なカスタマイズ対応や手厚いアフターフォローで最先端の半導体工場の自動化・省人化による生産性向上の一端を担いたい考え。
「WILL-FA」は、自己位置推定と環境地図作成を同時に行うSLAM技術を駆使し、カメラやLiDARといったセンサーからの情報を基に画像処理技術と組み合わせ、周囲の空間情報を認識して自律走行するとともに、ネットワークやクラウドにより他の機器や施設内設備と連携できる。
（藤原秀行）
